ATBECHDEDKESFRGBGRITLILUNLSEMCPTIESILTLVFIROMKCYALTRBGCZEEHUPLSKBAHRIS..MTNORSMESMMAKHTNMD..........*XBDM Ver 2.0.16 (1th of February 2022) - 1100000/04104203A120221221EP21703472.72021021020220811frfrfr200137020200212FR2022122120225120221221202251H01L 21/20 20060101AFI20210820BHEP H01L 21/0254 20130101 FI20201016BHEP H01L 21/02458 20130101 LI20201016BHEP H01L 21/02505 20130101 LI20201016BHEP H01L 21/02507 20130101 LI20201016BHEP H01L 21/02601 20130101 LA20201016BHEP H01L 21/0259 20130101 LI20201016BHEP H01L 21/02513 20130101 LI20201016BHEP deVERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON ALUMINIUM-GALLIUM-NITRID (ALGAN)-NANOSTRUKTURENenMETHOD FOR PRODUCING ALUMINUM GALLIUM NITRIDE (ALGAN) NANOSTRUCTURESfrPROCEDE DE FABRICATION DE NANOSTRUCTURES DE NITRURE D'ALUMINIUM ET DE GALLIUM (ALGAN)Centre national de la recherche scientifique101955162072362 WO FLO3 rue Michel Ange75016 ParisFRUNIVERSITE DE MONTPELLIER101639419072362 WO FLO163, rue Auguste Broussonnet34090 MontpellierFRBRAULT, Julien934 Chemin des Ames du purgatoire - Résidence Hameau de la Palmeraie - Bât E06600 ANTIBESFRAL KHALFIOUI, Mohamed8B rue Andrioli - Le Capitole 506000 NICEFRMASSIES, Jean2035 Route de Biot - N° 7 les Bois de Valbonne06560 VALBONNEFRGIL, Bernard74 Rue du Champ d'azur34090 MONTPELLIERFRAtout PI Laplace101869620Immeuble "Visium" 22, avenue Aristide Briand94117 Arcueil CedexFRALATBEBGCHCYCZDEDKEEESFIFRGBGRHRHUIEISITLILTLULVMCMKMTNLNOPLPTRORSSESISKSMTRBAMEKHMAMDTNEP202105319920210210frWO202116066420210819202133