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EP 4 107 558 A1

(12)

(43) Date de publication: 28.12.2022  Bulletin  2022/52 (21) Numéro de dépôt: 21703282.0 (22) Date de dépôt:  09.02.2021

(51) Int. Cl.:  G02B 3/00(2006.01) G01J 3/02(2006.01) H01L 27/146(2006.01) (52) Classification Coopérative des Brevets (CPC) : G02B 3/0068; H01L 27/14627; H01L 27/14623; H01L 27/14643; H01L 27/14678; H01L 27/14629; G01J 1/4228; G01J 1/0411; G01J 1/0437; G01J 1/06; G01J 1/0488 (86) Numéro de dépôt: PCT/EP2021/053011 (87) Numéro de publication internationale: WO 2021/165089 (26.08.2021 Gazette  2021/34)

(84) Etats contractants désignés: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR Etats d'extension désignés: BA ME Etats de validation désignés: KH MA MD TN (30) Priorité: 18.02.2020 FR 2001613 (71) Demandeur: ISORG 87068 Limoges Cedex 3 (FR)	(72) Inventeurs: BOUTHINON, Benjamin 38000 GRENOBLE (FR) MULLER, Pierre 38000 GRENOBLE (FR) BALLOT, Noémie 38000 GRENOBLE (FR) (74) Mandataire: Cabinet Beaumont  4, Place Robert Schuman B.P. 1529 38025 Grenoble Cedex 1 38025 Grenoble Cedex 1 (FR)