(19)
(11) EP 4 107 812 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
28.12.2022  Patentblatt  2022/52

(21) Anmeldenummer: 21706216.5

(22) Anmeldetag:  15.02.2021
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H01P 11/00(2006.01)
H05K 3/18(2006.01)
C23C 18/54(2006.01)
(52) Gemeinsame Patentklassifikation (CPC) :
H01P 11/00; C09D 11/52
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2021/053642
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2021/165201 (26.08.2021 Gazette  2021/34)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
BA ME
Benannte Validierungsstaaten:
KH MA MD TN

(30) Priorität: 17.02.2020 DE 102020104038

(71) Anmelder: Friedrich-Alexander-Universität Erlangen-Nürnberg
91054 Erlangen (DE)

(72) Erfinder:
  • GOLD, Gerald
    91054 Erlangen (DE)
  • HELMREICH, Klaus
    90158 Altdorf (DE)
  • LOMAKIN, Konstantin
    90411 Nürnberg (DE)
  • SIPPEL, Mark
    90766 Fürth (DE)

(74) Vertreter: Herrmann, Uwe 
Lorenz Seidler Gossel Rechtsanwälte Patentanwälte Partnerschaft mbB Widenmayerstraße 23
80538 München
80538 München (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON HOCHFREQUENZTECHNISCHEN FUNKTIONSSTRUKTUREN