(19)
(11) EP 4 111 490 A1

(12)

(43) Date de publication:
04.01.2023  Bulletin  2023/01

(21) Numéro de dépôt: 21706634.9

(22) Date de dépôt:  25.02.2021
(51) Int. Cl.: 
H01L 21/205(2006.01)
(52) Classification Coopérative des Brevets (CPC) :
H01L 21/02381; H01L 21/02389; H01L 21/0254; H01L 21/0262; H01L 21/02658; H01L 21/02609
(86) Numéro de dépôt:
PCT/EP2021/054721
(87) Numéro de publication internationale:
WO 2021/170739 (02.09.2021 Gazette  2021/35)
(84) Etats contractants désignés:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Etats d'extension désignés:
BA ME
Etats de validation désignés:
KH MA MD TN

(30) Priorité: 27.02.2020 FR 2001978

(71) Demandeurs:
  • Commissariat à l'Energie Atomique et aux Energies Alternatives
    75015 Paris (FR)
  • Centre national de la recherche scientifique
    75016 Paris (FR)
  • Université Grenoble Alpes
    38400 Saint-Martin-d'Hères (FR)

(72) Inventeurs:
  • LEGALLAIS, Maxime
    38054 GRENOBLE CEDEX 9 (FR)
  • SALEM, Bassem
    38054 GRENOBLE CEDEX 9 (FR)
  • BARON, Thierry
    38054 GRENOBLE CEDEX 9 (FR)
  • GWOZIECKI, Romain
    38054 GRENOBLE CEDEX 9 (FR)
  • PLISSONNIER, Marc
    38054 GRENOBLE CEDEX 9 (FR)

(74) Mandataire: Hautier IP 
20, rue de la Libérté
06000 Nice
06000 Nice (FR)

   


(54) PROCÉDÉ DE RÉALISATION D'UNE COUCHE À BASE DE NITRURE D'ALUMINIUM (ALN) SUR UNE STRUCTURE À BASE DE SILICIUM OU DE MATÉRIAUX III-V