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EP 4 115 443 A2

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(88) Veröffentlichungstag A3: 03.02.2022 (43) Veröffentlichungstag: 11.01.2023  Patentblatt  2023/02 (21) Anmeldenummer: 21731049.9 (22) Anmeldetag:  19.05.2021

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  H01L 21/56(2006.01) H01L 23/58(2006.01) H01L 21/603(2006.01) H01L 23/29(2006.01) (52) Gemeinsame Patentklassifikation (CPC) : H01L 2224/8184; H01L 2224/73204; H01L 2224/16227; H01L 2224/29011; H01L 2224/32225; H01L 2224/83192; H01L 2224/81191; H01L 2224/81203; H01L 2224/83102; H01L 2224/9211; H01L 24/33; H01L 2224/3301; H01L 2224/83203; H01L 2224/32013; H01L 24/32; H01L 24/29; H01L 2224/29291; H01L 2224/29386; H01L 24/16; H01L 24/81; H01L 24/83; H01L 24/92; H01L 2224/92125; H01L 2224/83986; H01L 24/73; H01L 2224/8392; H01L 21/563; H01L 23/585; H01L 23/295; H01L 2224/83101; H01L 2224/73104; H01L 2224/32058; H01L 2224/32105; H01L 2224/32106   C-Sets : H01L 2224/81203, H01L 2924/00012; H01L 2224/83203, H01L 2924/00012; H01L 2224/83986, H01L 2224/83203, H01L 2224/83102; H01L 2224/73204, H01L 2224/16225, H01L 2224/32225, H01L 2924/00; H01L 2224/83102, H01L 2924/00014; H01L 2224/9211, H01L 2224/81, H01L 2224/83; H01L 2224/3301, H01L 2924/00012; (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2021/063280 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2021/239538 (02.12.2021 Gazette  2021/48)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR Benannte Erstreckungsstaaten: BA ME Benannte Validierungsstaaten: KH MA MD TN (30) Priorität: 29.05.2020 DE 102020206763 (71) Anmelder: Siemens Aktiengesellschaft 80333 München (DE)	(72) Erfinder: MÜLLER, Bernd 16259 Falkenberg (DE) NACHTIGALL-SCHELLENBERG, Christian 14480 Potsdam (DE) STROGIES, Jörg 14163 Berlin (DE) WILKE, Klaus 12527 Berlin (DE)