(19)

(11)

EP 4 122 000 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 25.01.2023  Patentblatt  2023/04 (21) Anmeldenummer: 21709960.5 (22) Anmeldetag:  03.03.2021

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  H01J 61/04(2006.01) H01J 61/52(2006.01) H01J 61/28(2006.01) H01J 61/72(2006.01) (52) Gemeinsame Patentklassifikation (CPC) : H01J 61/72; H01J 61/28; H01J 61/523; H01J 61/045 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2021/055330 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2021/185582 (23.09.2021 Gazette  2021/38)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR Benannte Erstreckungsstaaten: BA ME Benannte Validierungsstaaten: KH MA MD TN (30) Priorität: 17.03.2020 DE 102020203417 (71) Anmelder: Heraeus Noblelight GmbH 63450 Hanau (DE)	(72) Erfinder: SHARMA, Anna Maria 63450 Hanau (DE) WINDERLICH, Jan 63450 Hanau (DE) SCHILLING, Franz-Josef 63450 Hanau (DE) KURZ, Holger 63450 Hanau (DE)