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EP 4 122 008 A1

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(43) Veröffentlichungstag: 25.01.2023  Patentblatt  2023/04 (21) Anmeldenummer: 21711504.7 (22) Anmeldetag:  08.03.2021

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  H01L 23/13(2006.01) H01L 23/367(2006.01) H01L 23/488(2006.01) H01L 21/60(2006.01) H01L 21/607(2006.01) H01L 23/522(2006.01) H01L 23/14(2006.01) H01L 23/373(2006.01) H01L 21/58(2006.01) H01L 21/603(2006.01) H01L 23/538(2006.01) B23K 35/02(2006.01) (52) Gemeinsame Patentklassifikation (CPC) : H01L 24/05; H01L 24/29; H01L 24/32; H01L 24/83; H01L 2224/04026; H01L 2224/29083; H01L 2224/29124; H01L 2224/29147; H01L 2224/2916; H01L 2224/29187; H01L 2224/29188; H01L 2224/2919; H01L 2224/32145; H01L 2224/32227; H01L 2224/83201; H01L 2224/83203; H01L 2224/83447; H01L 2224/83948; H01L 2224/05647; H01L 2224/83205; H01L 2224/83101; H01L 2224/83191; H01L 2224/83193; H01L 2224/27334; H01L 2224/8321; H01L 2924/00015; H01L 2224/32105; H01L 2224/29078; H01L 23/3677; H01L 23/3736; H01L 2224/32106; H01L 24/50; H01L 2224/86201; H01L 2224/86203; H01L 2224/3213; H01L 2224/86205; H01L 2224/8621; H01L 2224/29012; H01L 2224/86948; H01L 2224/29082; H01L 2224/27462; H01L 2224/83192; H01L 23/5387; H01L 2224/29014; H01L 24/86; H01L 24/27; H01L 23/5386; B23K 35/0222; B23K 35/0244   C-Sets : H01L 2224/83205, H01L 2924/00012; H01L 2224/83203, H01L 2924/00012; H01L 2224/27334, H01L 2924/00012; H01L 2224/8321, H01L 2924/00014; H01L 2924/00015, H01L 2224/83121; H01L 2224/27462, H01L 2924/00014; H01L 2224/86948, H01L 2924/00012; H01L 2224/83948, H01L 2924/00012; H01L 2224/29012, H01L 2924/00012; H01L 2224/8621, H01L 2924/00014; H01L 2224/86205, H01L 2924/00012; H01L 2224/86203, H01L 2924/00012; H01L 2224/86201, H01L 2924/00012; H01L 2224/05647, H01L 2924/00014; H01L 2224/29124, H01L 2924/00014; H01L 2224/83447, H01L 2924/00014; H01L 2224/29147, H01L 2924/00014; H01L 2224/83201, H01L 2924/00012; (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2021/055802 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2021/185618 (23.09.2021 Gazette  2021/38)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR Benannte Erstreckungsstaaten: BA ME Benannte Validierungsstaaten: KH MA MD TN (30) Priorität: 18.03.2020 DE 102020107511 18.03.2020 DE 102020107513 (71) Anmelder: NanoWired GmbH 64579 Gernsheim (DE)	(72) Erfinder: BIRLEM, Olav 64579 Gernsheim (DE) DASSINGER, Florian 64579 Gernsheim (DE) QUEDNAU, Sebastian 64579 Gernsheim (DE) ROUSTAIE, Farough 64579 Gernsheim (DE) (74) Vertreter: Schwenderling, Jens  KEENWAY Patentanwälte Neumann Heine Taruttis PartG mbB Postfach 103363 40024 Düsseldorf 40024 Düsseldorf (DE)