(19)
(11) EP 4 122 020 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
25.01.2023  Patentblatt  2023/04

(21) Anmeldenummer: 21735575.9

(22) Anmeldetag:  14.06.2021
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H01L 31/18(2006.01)
H01L 21/687(2006.01)
H01L 21/67(2006.01)
(52) Gemeinsame Patentklassifikation (CPC) :
H01L 21/67115; H01L 21/6875; H01L 31/18
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2021/065955
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2022/002570 (06.01.2022 Gazette  2022/01)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
BA ME
Benannte Validierungsstaaten:
KH MA MD TN

(30) Priorität: 30.06.2020 DE 102020208184

(71) Anmelder: Singulus Technologies AG
63796 Kahl am Main (DE)

(72) Erfinder:
  • CORD, Bernhard
    63755 Alzenau (DE)
  • BORODIN, Sergiy
    63741 Aschaffenburg (DE)
  • LUDWIG, Andreas
    63741 Aschaffenburg (DE)
  • NOVAK, Emmerich Manfred
    14797 Kloster Lehnin, OT Grebs (DE)

(74) Vertreter: Vossius & Partner Patentanwälte Rechtsanwälte mbB 
Siebertstraße 3
81675 München
81675 München (DE)

   


(54) HEIZSYSTEM UND VERFAHREN ZUM AUFHEIZEN VON GROSSFLÄCHIGEN SUBSTRATEN