(19)
(11) EP 4 124 210 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
01.02.2023  Patentblatt  2023/05

(21) Anmeldenummer: 20837950.3

(22) Anmeldetag:  16.12.2020
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
G03F 1/24(2012.01)
G01J 5/58(2022.01)
G02B 5/08(2006.01)
 G03F 1/72(2012.01)
G01J 5/00(2022.01)
(52) Gemeinsame Patentklassifikation (CPC) :
G03F 1/24; G03F 1/72; G02B 5/0891; G03F 1/60; G03F 7/70975; G03F 7/70316; G03F 7/70175; G21K 1/062; G01M 11/005; G01J 5/0007; G01J 5/061; G01J 2005/0077; G01J 5/59
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2020/086441
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2021/190780 (30.09.2021 Gazette  2021/39)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
BA ME
Benannte Validierungsstaaten:
KH MA MD TN

(30) Priorität: 24.03.2020 DE 102020203750

(71) Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH
73447 Oberkochen (DE)

(72) Erfinder:
  • STOLZ, Michael
    73447 Oberkochen (DE)
  • LAUFER, Timo
    70180 Stuttgart (DE)

(74) Vertreter: Raunecker, Klaus Peter 
Raunecker Patent Frauenstraße 11
89073 Ulm
89073 Ulm (DE)

   


(54) VORRICHTUNG ZUR ERFASSUNG EINER TEMPERATUR, ANLAGE ZUR HERSTELLUNG EINES OPTISCHEN ELEMENTES UND VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES OPTISCHEN ELEMENTES