(19)
(11) EP 4 127 686 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
08.02.2023  Patentblatt  2023/06

(21) Anmeldenummer: 21720998.0

(22) Anmeldetag:  25.03.2021
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
G01N 21/956(2000.01)
G01B 11/25(2000.01)
 B05C 11/10(1968.09)
(52) Gemeinsame Patentklassifikation (CPC) :
G01N 21/956; G01B 11/25; G01N 21/8851; G01N 2021/8427; G01N 2021/8438; B05C 11/1005; B05C 5/0216; G01B 11/02; G01B 11/00
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2021/057774
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2021/191363 (30.09.2021 Gazette  2021/39)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
BA ME
Benannte Validierungsstaaten:
KH MA MD TN

(30) Priorität: 25.03.2020 DE 102020203850

(71) Anmelder: QUISS Qualitäts-Inspektionssysteme und Service GmbH
82178 Puchheim (DE)

(72) Erfinder:
  • GRUBER, Bernhard
    82131 Stockdorf (DE)

(74) Vertreter: Kehl, Ascherl, Liebhoff & Ettmayr Patentanwälte Partnerschaft mbB 
Emil-Riedel-Straße 18
80538 München
80538 München (DE)

   


(54) NEUARTIGE VORRICHTUNG/EN ZUM AUTOMATISCHEN ÜBERWACHEN EINER AUF EINEM SUBSTRAT AUFGEBRACHTEN BESCHICHTUNG UND/ODER STRUKTUR MIT ERMITTLUNG VON REFLEXIONSEIGENSCHAFTEN UND/ODER GEOMETRISCHEN ABMESSUNGEN SOWIE EIN ENTSPRECHENDES VERFAHREN