(19)

(11)

EP 4 128 322 A1

(12)

(43) Date de publication: 08.02.2023  Bulletin  2023/06 (21) Numéro de dépôt: 21704872.7 (22) Date de dépôt:  19.01.2021

(51) Int. Cl.:  H01L 21/02(1974.07) H01L 21/324(1974.07) H01L 21/18(1974.07) H01L 21/762(1995.01) (52) Classification Coopérative des Brevets (CPC) : H01L 21/76254; H01L 21/3247; H01L 21/02002 (86) Numéro de dépôt: PCT/FR2021/050089 (87) Numéro de publication internationale: WO 2021/191513 (30.09.2021 Gazette  2021/39)

(84) Etats contractants désignés: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR Etats d'extension désignés: BA ME Etats de validation désignés: KH MA MD TN (30) Priorité: 23.03.2020 FR 2002811 (71) Demandeurs: SOITEC 38190 Bernin (FR) Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives 75015 Paris (FR)	(72) Inventeurs: MAZEN, Frédéric 38054 GRENOBLE CEDEX 09 (FR) RIEUTORD, François 38054 GRENOBLE CEDEX 09 (FR) COIG, Marianne 38054 GRENOBLE CEDEX 09 (FR) GRAMPEIX, Helen 38054 GRENOBLE CEDEX 09 (FR) LANDRU, Didier 38190 LE CHAMP-PRES-FROGES (FR) KONONCHUK, Oleg 38570 THEYS (FR) BEN MOHAMED, Nadia 38130 ECHIROLLES (FR) (74) Mandataire: IP Trust  2, rue de Clichy 75009 Paris 75009 Paris (FR)