(19)
(11) EP 4 136 665 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
22.02.2023  Patentblatt  2023/08

(21) Anmeldenummer: 21718115.5

(22) Anmeldetag:  12.04.2021
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H01J 37/32(2006.01)
H03F 3/20(2006.01)
 H03F 3/19(2006.01)
(52) Gemeinsame Patentklassifikation (CPC) :
H03F 3/20; H01J 37/32183; H03F 3/19; H03F 2200/451; H03F 2200/72; H03H 7/38; H05H 2242/26
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2021/059449
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2021/209390 (21.10.2021 Gazette  2021/42)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
BA ME
Benannte Validierungsstaaten:
KH MA MD TN

(30) Priorität: 15.04.2020 DE 202020102084 U

(71) Anmelder: TRUMPF Hüttinger GmbH + Co. KG
79111 Freiburg (DE)

(72) Erfinder:
  • NORDMANN, Birger
    53347 Alfter (DE)

(74) Vertreter: Trumpf Patentabteilung 
Trumpf SE + Co. KG TH550 Patente und Lizenzen Johann-Maus-Straße 2
71254 Ditzingen
71254 Ditzingen (DE)

   


(54) IMPEDANZANPASSUNGSSCHALTUNG UND PLASMAVERSORGUNGSSYSTEM UND VERFAHREN ZUM BETRIEB