(19)
(11) EP 4 146 586 A1

(12)

(43) Date de publication:
15.03.2023  Bulletin  2023/11

(21) Numéro de dépôt: 21716744.4

(22) Date de dépôt:  08.04.2021
(51) Int. Cl.: 
B81C 1/00(2006.01)
(52) Classification Coopérative des Brevets (CPC) :
B81C 1/00285
(86) Numéro de dépôt:
PCT/EP2021/059150
(87) Numéro de publication internationale:
WO 2021/223951 (11.11.2021 Gazette  2021/45)
(84) Etats contractants désignés:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Etats d'extension désignés:
BA ME
Etats de validation désignés:
KH MA MD TN

(30) Priorité: 07.05.2020 FR 2004519

(71) Demandeur: LYNRED
91120 Palaiseau (FR)

(72) Inventeur:
  • LEMETTRE, Sylvain
    91300 MASSY (FR)

(74) Mandataire: Cabinet Laurent & Charras 
Le Contemporain 50 Chemin de la Bruyère
69574 Dardilly Cedex
69574 Dardilly Cedex (FR)

   


(54) PROCEDE DE FABRICATION D'UN MICROSYSTEME ELECTROMECANIQUE ET MICROSYSTEME ELECTROMECANIQUE