(19)
(11) EP 4 146 843 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
15.03.2023  Patentblatt  2023/11

(21) Anmeldenummer: 21728010.6

(22) Anmeldetag:  07.05.2021
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
C23C 16/44(2006.01)
G01J 5/00(2006.01)
 C23C 16/455(2006.01)
(52) Gemeinsame Patentklassifikation (CPC) :
C23C 16/45565; C23C 16/45572; C23C 16/4408; C23C 16/4409; G01J 5/0007; G01J 5/05; G01J 5/051
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2021/062106
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2021/224446 (11.11.2021 Gazette  2021/45)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
BA ME
Benannte Validierungsstaaten:
KH MA MD TN

(30) Priorität: 08.05.2020 DE 102020112569

(71) Anmelder: Aixtron Ltd.
Cambridge, Cambridgeshire CB24 4FQ (GB)

(72) Erfinder:
  • JIANG, Honggen
    Cambridgeshire PE27 3FN (GB)

(74) Vertreter: Grundmann, Dirk 
Rieder & Partner mbB Patentanwälte - Rechtsanwalt Yale-Allee 26
42329 Wuppertal
42329 Wuppertal (DE)

   


(54) GASEINLASSORGAN MIT EINEM DURCH EIN EINSATZROHR VERLAUFENDEN OPTISCHEN PFAD