(19)
(11) EP 4 147 263 A1

(12)

(43) Date de publication:
15.03.2023  Bulletin  2023/11

(21) Numéro de dépôt: 21720785.1

(22) Date de dépôt:  28.04.2021
(51) Int. Cl.: 
H01J 37/073(2006.01)
 H01J 37/29(2006.01)
(52) Classification Coopérative des Brevets (CPC) :
H01J 37/073; H01J 37/29; H01J 2237/2626; H01J 2237/06333; H01J 2237/06341
(86) Numéro de dépôt:
PCT/EP2021/061068
(87) Numéro de publication internationale:
WO 2021/224079 (11.11.2021 Gazette  2021/45)
(84) Etats contractants désignés:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Etats de validation désignés:
KH MA MD TN

(30) Priorité: 05.05.2020 FR 2004444

(71) Demandeurs:
  • Commissariat à l'Energie Atomique et aux Energies Alternatives
    75015 Paris (FR)
  • Centre National de la Recherche Scientifique
    75016 Paris (FR)
  • Université Paris-Saclay
    91190 Gif-sur-Yvette (FR)

(72) Inventeurs:
  • COMPARAT, Daniel
    75013 PARIS (FR)
  • BARRETT, Nicholas
    91191 GIF SUR YVETTE Cedex (FR)
  • AMIAUD, Lionel
    91120 PALAISEAU (FR)
  • PICARD, Yan
    91650 BREUILLET (FR)
  • LAFOSSE, Anne
    75014 PARIS (FR)
  • HAHN, Raphaël
    91400 ORSAY (FR)
  • FEDCHENKO, Olena
    55122 MAINZ (DE)
  • SCHOENHENSE, Gerd
    55128 MAINZ (DE)

(74) Mandataire: Atout PI Laplace 
Immeuble "Visium" 22, avenue Aristide Briand
94117 Arcueil Cedex
94117 Arcueil Cedex (FR)

   


(54) SYSTEME D'ANALYSE DE SURFACE COMPRENANT UNE SOURCE PULSEE D'ELECTRONS