(19)
(11) EP 4 147 461 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
15.03.2023  Patentblatt  2023/11

(21) Anmeldenummer: 20727165.1

(22) Anmeldetag:  08.05.2020
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H04R 19/00(2006.01)
B81B 7/00(2006.01)
H04R 19/04(2006.01)
B81B 3/00(2006.01)
H04R 19/02(2006.01)
(52) Gemeinsame Patentklassifikation (CPC) :
H04R 19/005; B81B 2201/0257; H04R 19/02; B81B 3/0059; B81B 7/0061; B81B 2201/036
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2020/062901
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2021/223886 (11.11.2021 Gazette  2021/45)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
BA ME
Benannte Validierungsstaaten:
KH MA MD TN

(71) Anmelder: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
80686 München (DE)

(72) Erfinder:
  • MELNIKOV, Anton
    01109 Dresden (DE)
  • WALL, Franziska
    01109 Dresden (DE)
  • MONSALVE GUARACAO, Jorge Mario
    01109 Dresden (DE)
  • KAISER, Bert
    01109 Dresden (DE)
  • LANGA, Sergiu
    01109 Dresden (DE)

(74) Vertreter: Stöckeler, Ferdinand et al
Schoppe, Zimmermann, Stöckeler Zinkler, Schenk & Partner mbB Patentanwälte Radlkoferstrasse 2
81373 München
81373 München (DE)

   


(54) MEMS ZUM HOCHEFFIZIENTEN INTERAGIEREN MIT EINEM VOLUMENSTROM