(19)

(11)

EP 4 150 644 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 22.03.2023  Patentblatt  2023/12 (21) Anmeldenummer: 21722416.1 (22) Anmeldetag:  27.04.2021

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  G21K 1/06(2006.01) G03F 7/20(2006.01) (52) Gemeinsame Patentklassifikation (CPC) : G21K 1/062; G21K 2201/067; H05G 2/005; G03F 7/7015; G03F 7/70316; G03F 7/70925; G03F 7/70175 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2021/060921 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2021/228545 (18.11.2021 Gazette  2021/46)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR Benannte Erstreckungsstaaten: BA ME Benannte Validierungsstaaten: KH MA MD TN (30) Priorität: 14.05.2020 DE 102020206117 (71) Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 73447 Oberkochen (DE)	(72) Erfinder: GONCHAR, Anastasia 89075 Ulm (DE) (74) Vertreter: Kohler Schmid Möbus Patentanwälte  Partnerschaftsgesellschaft mbB Gropiusplatz 10 70563 Stuttgart 70563 Stuttgart (DE)