(19)

(11)

EP 4 154 307 A1

(12)

(43) Date de publication: 29.03.2023  Bulletin  2023/13 (21) Numéro de dépôt: 21732484.7 (22) Date de dépôt:  18.05.2021

(51) Int. Cl.:  H01L 21/762(2006.01) (52) Classification Coopérative des Brevets (CPC) : H01L 21/76254 (86) Numéro de dépôt: PCT/FR2021/050874 (87) Numéro de publication internationale: WO 2021/234280 (25.11.2021 Gazette  2021/47)

(84) Etats contractants désignés: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR Etats d'extension désignés: BA ME Etats de validation désignés: KH MA MD TN (30) Priorité: 18.05.2020 FR 2004970 (71) Demandeur: SOITEC 38190 Bernin (FR)	(72) Inventeurs: BERTRAND, Isabelle 38190 BERNIN (FR) SCHWARZENBACH, Walter 38190 BERNIN (FR) ALLIBERT, Frédéric 38190 BERNIN (FR) (74) Mandataire: Regimbeau  20, rue de Chazelles 75847 Paris Cedex 17 75847 Paris Cedex 17 (FR)