(19)

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EP 4 158 424 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 05.04.2023  Patentblatt  2023/14 (21) Anmeldenummer: 21709624.7 (22) Anmeldetag:  18.02.2021

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  G03F 7/20(2006.01) F16F 9/00(2006.01) F16F 5/00(2006.01) G02B 7/02(2006.01) (52) Gemeinsame Patentklassifikation (CPC) : G03F 7/709; G02B 7/00; F16F 9/106; F16F 9/504; F16F 9/532; F16F 9/535 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2021/054038 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2021/239277 (02.12.2021 Gazette  2021/48)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR Benannte Erstreckungsstaaten: BA ME Benannte Validierungsstaaten: KH MA MD TN (30) Priorität: 27.05.2020 DE 102020206589 (71) Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 73447 Oberkochen (DE)	(72) Erfinder: NEFZI, Marwene 89073 Ulm (DE) HEMBACHER, Stefan 86399 Bobingen (DE) SCHOENEN, David 73430 Aalen (DE) KUGLER, Jens 73431 Aalen (DE) (74) Vertreter: Frank, Hartmut  Bonsmann Bonsmann Frank Patentanwälte Reichspräsidentenstraße 21-25 45470 Mülheim a. d. Ruhr 45470 Mülheim a. d. Ruhr (DE)