(19)
(11) EP 4 162 521 A1

(12)

(43) Date de publication:
12.04.2023  Bulletin  2023/15

(21) Numéro de dépôt: 21729523.7

(22) Date de dépôt:  31.05.2021
(51) Int. Cl.: 
H01L 21/67(2006.01)
(52) Classification Coopérative des Brevets (CPC) :
H01L 21/67017
(86) Numéro de dépôt:
PCT/EP2021/064478
(87) Numéro de publication internationale:
WO 2021/245000 (09.12.2021 Gazette  2021/49)
(84) Etats contractants désignés:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Etats d'extension désignés:
BA ME
Etats de validation désignés:
KH MA MD TN

(30) Priorité: 05.06.2020 FR 2005922

(71) Demandeur: Air Liquide Electronics Systems
75007 Paris (FR)

(72) Inventeurs:
  • TODOROVA, Vanina
    38130 Echirolles (FR)
  • DULPHY, Hervé
    38130 Echirolles (FR)

(74) Mandataire: Air Liquide 
L'Air Liquide S.A. Direction de la Propriété Intellectuelle 75, Quai d'Orsay
75321 Paris Cedex 07
75321 Paris Cedex 07 (FR)

   


(54) INSTALLATION ET PROCÉDÉ DE DISTRIBUTION D'UN MÉLANGE DE GAZ