(19)

(11)

EP 4 168 841 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 26.04.2023  Patentblatt  2023/17 (21) Anmeldenummer: 20734860.8 (22) Anmeldetag:  18.06.2020

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  G02B 7/00(2021.01) G02B 7/182(2021.01) G02B 7/02(2021.01) H01S 3/086(2006.01) (52) Gemeinsame Patentklassifikation (CPC) : G02B 7/1824; G02B 7/023; G02B 7/004; H05G 2/008 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2020/066868 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2021/254614 (23.12.2021 Gazette  2021/51)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR Benannte Erstreckungsstaaten: BA ME Benannte Validierungsstaaten: KH MA MD TN (71) Anmelder: TRUMPF Lasersystems for Semiconductor Manufacturing GmbH 71254 Ditzingen (DE)	(72) Erfinder: BURGER, Dieter 71665 Vaihingen an der Enz (DE) ERICHSON, Oliver 71634 Ludwigsburg (DE) MUELLER, Jonathan 70199 Stuttgart (DE) WECKER, Matthias 71229 Leonberg-Hoefingen (DE) (74) Vertreter: Trumpf Patentabteilung  Trumpf SE + Co. KG TH550 Patente und Lizenzen Johann-Maus-Straße 2 71254 Ditzingen 71254 Ditzingen (DE)