(19)
(11) EP 4 168 844 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
26.04.2023  Patentblatt  2023/17

(21) Anmeldenummer: 21735910.8

(22) Anmeldetag:  22.06.2021
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
G02B 26/08(2006.01)
B81B 3/00(2006.01)
(52) Gemeinsame Patentklassifikation (CPC) :
G02B 26/0858
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2021/067010
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2021/259936 (30.12.2021 Gazette  2021/52)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
BA ME
Benannte Validierungsstaaten:
KH MA MD TN

(30) Priorität: 23.06.2020 DE 102020116511

(71) Anmelder: Oqmented GmbH
25524 Itzehoe (DE)

(72) Erfinder:
  • MARAUSKA, Stephan
    24568 Kaltenkirchen (DE)
  • HOFMANN, Ulrich
    25524 Itzehoe (DE)
  • VON WANTOCH, Thomas
    24159 Kiel (DE)
  • SCHWARZ, Fabian
    25524 Itzehoe (DE)

(74) Vertreter: Platzöder, Michael Christian 
Wallinger Ricker Schlotter Tostmann Patent- und Rechtsanwälte Partnerschaft mbB Zweibrückenstrasse 5-7
80331 München
80331 München (DE)

   


(54) GLASSUBSTRATBASIERTE MEMS-SPIEGELVORRICHTUNG UND VERFAHREN ZU IHRER HERSTELLUNG