(19)
(11) EP 4 169 057 A1

(12)

(43) Date de publication:
26.04.2023  Bulletin  2023/17

(21) Numéro de dépôt: 21733826.8

(22) Date de dépôt:  18.06.2021
(51) Int. Cl.: 
H01L 21/02(2006.01)
 H01L 21/311(2006.01)
(52) Classification Coopérative des Brevets (CPC) :
H01L 21/31111; H01L 21/02183; H01L 21/02274; H01L 21/0228; H01L 21/0234; H01L 21/02521; H01L 21/0262
(86) Numéro de dépôt:
PCT/EP2021/066714
(87) Numéro de publication internationale:
WO 2021/255286 (23.12.2021 Gazette  2021/51)
(84) Etats contractants désignés:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Etats d'extension désignés:
BA ME
Etats de validation désignés:
KH MA MD TN

(30) Priorité: 19.06.2020 FR 2006444

(71) Demandeurs:
  • Commissariat à l'Energie Atomique et aux Energies Alternatives
    75015 Paris (FR)
  • Université Grenoble Alpes
    38400 Saint-Martin-d'Hères (FR)
  • Centre National de la Recherche Scientifique
    75016 Paris (FR)

(72) Inventeurs:
  • BONVALOT, Marceline
    38320 EYBENS (FR)
  • VALLEE, Christophe
    38660 LE TOUVET (FR)
  • YEGHOYAN, Taguhi
    38300 BOURGOIN-JALLIEU (FR)
  • POSSEME, Nicolas
    38054 GRENOBLE (FR)

(74) Mandataire: Hautier IP 
20, rue de la Liberté
06000 Nice
06000 Nice (FR)

   


(54) PROCÉDÉ DE RÉALISATION D'UNE COUCHE SUR CERTAINES SURFACES SEULEMENT D'UNE STRUCTURE