(19)
(11) EP 4 169 066 A1

(12)

(43) Date de publication:
26.04.2023  Bulletin  2023/17

(21) Numéro de dépôt: 21731210.7

(22) Date de dépôt:  15.06.2021
(51) Int. Cl.: 
H01L 21/8252(2006.01)
H01L 27/085(2006.01)
H01L 29/10(2006.01)
H01L 29/778(2006.01)
H01L 29/207(2006.01)
 H01L 27/06(2006.01)
H01L 29/06(2006.01)
H01L 29/417(2006.01)
H01L 29/66(2006.01)
H01L 29/861(2006.01)
(52) Classification Coopérative des Brevets (CPC) :
H01L 21/8252; H01L 27/085; H01L 27/0605; H01L 29/7786; H01L 29/66462; H01L 29/1066; H01L 29/41766; H01L 29/207; H01L 29/861; H01L 29/1075
(86) Numéro de dépôt:
PCT/EP2021/066138
(87) Numéro de publication internationale:
WO 2021/255039 (23.12.2021 Gazette  2021/51)
(84) Etats contractants désignés:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Etats d'extension désignés:
BA ME
Etats de validation désignés:
KH MA MD TN

(30) Priorité: 19.06.2020 FR 2006416

(71) Demandeur: Commissariat à l'Energie Atomique et aux Energies Alternatives
75015 Paris (FR)

(72) Inventeurs:
  • BUCKLEY, Julien
    38054 Grenoble Cedex 9 (FR)
  • ESCOFFIER, René
    38054 Grenoble Cedex 9 (FR)
  • GILLOT, Charlotte
    38054 Grenoble Cedex 9 (FR)

(74) Mandataire: Cabinet Camus Lebkiri 
25 rue de Maubeuge
75009 Paris
75009 Paris (FR)

   


(54) DISPOSITIF MICRO-ÉLECTRONIQUE À SUBSTRAT ISOLÉ, ET PROCÉDÉ DE FABRICATION ASSOCIÉ