(19)

(11)

EP 4 172 695 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 03.05.2023  Patentblatt  2023/18 (21) Anmeldenummer: 21731100.0 (22) Anmeldetag:  02.06.2021

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  G03F 7/20(2006.01) G02B 1/14(2015.01) (52) Gemeinsame Patentklassifikation (CPC) : G02B 1/14; G03F 7/70316; G03F 7/70958; G02B 5/0891 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2021/064874 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2022/002524 (06.01.2022 Gazette  2022/01)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR Benannte Erstreckungsstaaten: BA ME Benannte Validierungsstaaten: KH MA MD TN (30) Priorität: 29.06.2020 DE 102020208044 (71) Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 73447 Oberkochen (DE)	(72) Erfinder: LANGE, Felix 89537 Giengen an der Brenz (DE) WALTER (GEB. MEYER), Larissa 73434 Aalen (DE) (74) Vertreter: Kohler Schmid Möbus Patentanwälte  Partnerschaftsgesellschaft mbB Gropiusplatz 10 70563 Stuttgart 70563 Stuttgart (DE)