| (84) |
Benannte Vertragsstaaten: |
|
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL
NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR |
|
Benannte Erstreckungsstaaten: |
|
BA ME |
|
Benannte Validierungsstaaten: |
|
KH MA MD TN |
| (30) |
Priorität: |
02.07.2020 DE 102020208298
|
| (71) |
Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH |
|
73447 Oberkochen (DE) |
|
| (72) |
Erfinder: |
|
- BOLSINGER, Valentin Jonatan
73431 Aalen (DE)
|
| (74) |
Vertreter: Rau, Schneck & Hübner
Patentanwälte Rechtsanwälte PartGmbB |
|
Königstraße 2
90402 Nürnberg
90402 Nürnberg (DE) |
|
