(19)

(11)

EP 4 179 563 A1

(12)

(43) Date de publication: 17.05.2023  Bulletin  2023/20 (21) Numéro de dépôt: 21743407.5 (22) Date de dépôt:  08.07.2021

(51) Int. Cl.:  H01L 21/02(2006.01) H01L 29/66(2006.01) (52) Classification Coopérative des Brevets (CPC) : H01L 21/02178; H01L 21/022; H01L 21/02274; H01L 21/0228; H01L 29/94; H01L 29/513; H01L 29/517; H01L 29/20; H01L 29/2003; H01L 29/778; H01L 21/28264 (86) Numéro de dépôt: PCT/EP2021/069075 (87) Numéro de publication internationale: WO 2022/008690 (13.01.2022 Gazette  2022/02)

(84) Etats contractants désignés: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR Etats d'extension désignés: BA ME Etats de validation désignés: KH MA MD TN (30) Priorité: 09.07.2020 FR 2007279 (71) Demandeurs: Commissariat à l'Energie Atomique et aux Energies Alternatives 75015 Paris (FR) Centre National de la Recherche Scientifique 75016 Paris (FR) Université Grenoble Alpes 38400 Saint-Martin-d'Hères (FR)

(72) Inventeurs: LEGALLAIS, Maxime 38054 GRENOBLE CEDEX 9 (FR) SALEM, Bassem 38054 GRENOBLE CEDEX 9 (FR) BARON, Thierry 38054 GRENOBLE CEDEX 9 (FR) GWOZIECKI, Romain 38054 GRENOBLE CEDEX 9 (FR) PLISSONNIER, Marc 38054 GRENOBLE CEDEX 9 (FR) (74) Mandataire: Hautier IP  20, rue de la Liberté 06000 Nice 06000 Nice (FR)