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EP 4 182 262 A1

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(43) Veröffentlichungstag: 24.05.2023  Patentblatt  2023/21 (21) Anmeldenummer: 21739255.4 (22) Anmeldetag:  11.06.2021

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  B82Y 10/00(2011.01) G03F 7/16(2006.01) B81C 1/00(2006.01) G03F 7/00(2006.01) B29C 59/18(2006.01) C08J 7/00(2006.01) (52) Gemeinsame Patentklassifikation (CPC) : G03F 7/0037; G03F 7/16; B82Y 10/00; B29C 59/18; C08J 7/123; C08J 2383/04; B29C 59/14; B29C 59/16; B81C 1/00492; B82Y 40/00 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2021/065763 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2022/012825 (20.01.2022 Gazette  2022/03)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR Benannte Erstreckungsstaaten: BA ME Benannte Validierungsstaaten: KH MA MD TN (30) Priorität: 14.07.2020 DE 102020118555 (71) Anmelder: Forschungszentrum Jülich GmbH 52425 Jülich (DE)	(72) Erfinder: ELGETI, Jens 52428 Jülich (DE) GOMPPER, Gerhard 52428 Jülich (DE) FÖRSTER, Stephan 52428 Jülich (DE) DE QUEIROZ DA COSTA CAMPOS, Lucas 52351 Düren (DE) (74) Vertreter: Rupprecht, Kay  Meissner Bolte Patentanwälte Rechtsanwälte Partnerschaft mbB Kaiserswerther Straße 183 40474 Düsseldorf 40474 Düsseldorf (DE)