| (84) |
Benannte Vertragsstaaten: |
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AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL
NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR |
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Benannte Erstreckungsstaaten: |
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BA ME |
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Benannte Validierungsstaaten: |
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KH MA MD TN |
| (30) |
Priorität: |
12.08.2020 DE 102020121241
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| (71) |
Anmelder: ALD Vacuum Technologies GmbH |
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63457 Hanau (DE) |
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| (72) |
Erfinder: |
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- WITTICH, Jörg
64853 Otzberg (DE)
- OBERLE, Simon
63906 Erlenbach (DE)
- HOTZ, Jürgen
64839 Münster (DE)
- KUNKEL, Stefan
63599 Biebergemünd (DE)
- RIETH, Wolfgang
Gelnhausen 63571 (DE)
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| (74) |
Vertreter: Fuchs Patentanwälte Partnerschaft mbB |
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Tower 185
Friedrich-Ebert-Anlage 35-37
60327 Frankfurt am Main
60327 Frankfurt am Main (DE) |
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