(19)
(11) EP 4 189 136 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
07.06.2023  Patentblatt  2023/23

(21) Anmeldenummer: 21746480.9

(22) Anmeldetag:  20.07.2021
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
C23C 16/458(2006.01)
C23C 16/52(2006.01)
G01J 5/00(2022.01)
H01L 21/66(2006.01)
 C23C 16/46(2006.01)
H01L 21/687(2006.01)
H01L 21/67(2006.01)
(52) Gemeinsame Patentklassifikation (CPC) :
C23C 16/4584; C23C 16/4586; C23C 16/46; H01L 21/68771; H01L 21/68764; H01L 21/67248; C23C 16/52; H01L 22/12; H01L 21/67253; H01L 21/67288; H01L 21/67103
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2021/070262
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2022/023122 (03.02.2022 Gazette  2022/05)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
BA ME
Benannte Validierungsstaaten:
KH MA MD TN

(30) Priorität: 28.07.2020 DE 102020119873

(71) Anmelder: Aixtron SE
52134 Herzogenrath (DE)

(72) Erfinder:
  • HAHN, Utz Herwig
    4730 Raeren (BE)
  • DAUELSBERG, Martin
    52074 Aachen (DE)
  • SCHMITT, Thomas
    41189 Mönchengladbach (DE)

(74) Vertreter: Grundmann, Dirk et al
Rieder & Partner mbB Patentanwälte - Rechtsanwalt Yale-Allee 26
42329 Wuppertal
42329 Wuppertal (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUM ERKENNEN FEHLERHAFTER ODER FEHLERHAFT IN EINEN CVD-REAKTOR EINGESETZTE SUBSTRATE