(19)
(11) EP 4 193 378 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
14.06.2023  Patentblatt  2023/24

(21) Anmeldenummer: 21777418.1

(22) Anmeldetag:  06.09.2021
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H01J 37/32(2006.01)
H01J 37/34(2006.01)
 C23C 14/34(2006.01)
(52) Gemeinsame Patentklassifikation (CPC) :
H01J 37/3467; H01J 37/32706; C23C 14/3485; C23C 14/345; C23C 14/352
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2021/074470
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2022/058193 (24.03.2022 Gazette  2022/12)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
BA ME
Benannte Validierungsstaaten:
KH MA MD TN

(30) Priorität: 15.09.2020 DE 102020124032

(71) Anmelder: CemeCon AG
52146 Würselen (DE)

(72) Erfinder:
  • MAY, Walter
    52078 Aachen (DE)
  • KÖLKER, Werner
    52134 Herzogenrath (DE)
  • BOLZ, Stephan
    52072 Aachen (DE)

(74) Vertreter: Kalkoff & Partner Patentanwälte mbB 
Martin-Schmeisser-Weg 3a-3b
44227 Dortmund
44227 Dortmund (DE)

   


(54) BESCHICHTUNGSVORRICHTUNG UND BESCHICHTUNGSVERFAHREN MIT UNTERTEILTEN PULSEN