(19)

(11)

EP 4 197 022 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 21.06.2023  Patentblatt  2023/25 (21) Anmeldenummer: 21739296.8 (22) Anmeldetag:  25.06.2021

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  H01J 37/34(2006.01) C23C 14/34(2006.01) C23C 14/22(2006.01) (52) Gemeinsame Patentklassifikation (CPC) : H01J 37/3447; C23C 14/22; C23C 14/3407; H01J 37/3417 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2021/067511 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2022/033757 (17.02.2022 Gazette  2022/07)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR Benannte Erstreckungsstaaten: BA ME Benannte Validierungsstaaten: KH MA MD TN (30) Priorität: 13.08.2020 DE 102020004935 (71) Anmelder: Singulus Technologies AG 63796 Kahl am Main (DE)	(72) Erfinder: WEIPERT, Peter 63825 Schöllkrippen (DE) (74) Vertreter: Vossius & Partner Patentanwälte Rechtsanwälte mbB  Siebertstraße 3 81675 München 81675 München (DE)