(19)
(11) EP 4 200 893 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
28.06.2023  Patentblatt  2023/26

(21) Anmeldenummer: 21762038.4

(22) Anmeldetag:  17.08.2021
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H01L 21/02(2006.01)
C30B 25/16(2006.01)
 C30B 25/06(2006.01)
C30B 29/40(2006.01)
(52) Gemeinsame Patentklassifikation (CPC) :
C30B 29/403; C30B 25/165; C30B 25/06; H01L 21/02381; H01L 21/02631; H01L 21/0254; H01L 21/02505; H01L 21/02491; H01L 21/02458
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2021/072776
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2022/038108 (24.02.2022 Gazette  2022/08)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
BA ME
Benannte Validierungsstaaten:
KH MA MD TN

(30) Priorität: 19.08.2020 DE 102020121750

(71) Anmelder: Otto-von-Guericke-Universität Magdeburg
39106 Magdeburg (DE)

(72) Erfinder:
  • DADGAR, Armin
    10555 Berlin (DE)
  • HÖRICH, Florian
    38828 Wegeleben (DE)

(74) Vertreter: Schlosser, Martin 
Patentanwalt Hofleitenstraße 34
86356 Neusäß
86356 Neusäß (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUM WACHSEN EINER HALBLEITERANORDNUNG UND HALBLEITERANORDNUNG