(19)

(11)

EP 4 208 584 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3: 05.05.2022 (43) Veröffentlichungstag: 12.07.2023  Patentblatt  2023/28 (21) Anmeldenummer: 21769475.1 (22) Anmeldetag:  02.09.2021

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  C23C 16/455(2006.01) H01L 21/67(2006.01) (52) Gemeinsame Patentklassifikation (CPC) : C23C 16/45565; C23C 16/45574; C23C 16/45576; C23C 16/45512; C23C 16/45561; C23C 16/4558 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2021/074235 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2022/049182 (10.03.2022 Gazette  2022/10)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR Benannte Erstreckungsstaaten: BA ME Benannte Validierungsstaaten: KH MA MD TN (30) Priorität: 03.09.2020 DE 102020123076 (71) Anmelder: Aixtron SE 52134 Herzogenrath (DE)	(72) Erfinder: BOYD, Adam 4721 Kelmis (BE) (74) Vertreter: Grundmann, Dirk et al Rieder & Partner mbB Patentanwälte - Rechtsanwalt Yale-Allee 26 42329 Wuppertal 42329 Wuppertal (DE)