(19)
(11) EP 4 214 351 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
26.07.2023  Patentblatt  2023/30

(21) Anmeldenummer: 21786758.9

(22) Anmeldetag:  14.09.2021
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
C23C 16/458(2006.01)
H01J 37/32(2006.01)
C23C 16/509(2006.01)
H01L 21/67(2006.01)
(52) Gemeinsame Patentklassifikation (CPC) :
C23C 16/4586; C23C 16/509; C23C 16/5096; H01J 37/32724; H01L 21/67109; H01J 37/3244; H01J 37/32522
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE2021/100759
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2022/057978 (24.03.2022 Gazette  2022/12)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
BA ME
Benannte Validierungsstaaten:
KH MA MD TN

(30) Priorität: 15.09.2020 DE 102020124030

(71) Anmelder: centrotherm international AG
89143 Blaubeuren (DE)

(72) Erfinder:
  • TRÖLLER, Mirko
    89143 Blaubeuren (DE)
  • FUCHS, Jens-Uwe
    89143 Blaubeuren (DE)
  • REIZE, Ralf
    89143 Blaubeuren (DE)
  • LEICHTLE, Roland
    89143 Blaubeuren (DE)

(74) Vertreter: Heyerhoff Geiger & Partner Patentanwälte PartGmbB 
Heiligenbreite 52
88662 Überlingen
88662 Überlingen (DE)

   


(54) VORRICHTUNG, SYSTEM UND VERFAHREN ZUR PLASMAUNTERSTÜTZTEN CHEMISCHEN GASPHASENABSCHEIDUNG