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EP 4 214 352 A1

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(43) Veröffentlichungstag: 26.07.2023  Patentblatt  2023/30 (21) Anmeldenummer: 21790070.3 (22) Anmeldetag:  14.09.2021

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  C23C 16/458(2006.01) H01J 37/32(2006.01) C23C 16/46(2006.01) C23C 16/509(2006.01) H01L 21/687(2006.01) (52) Gemeinsame Patentklassifikation (CPC) : C23C 16/4586; C23C 16/509; C23C 16/5096; H01J 37/32091; H01J 37/32715; C23C 16/46; H01L 21/67313 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/DE2021/100758 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2022/057977 (24.03.2022 Gazette  2022/12)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR Benannte Erstreckungsstaaten: BA ME Benannte Validierungsstaaten: KH MA MD TN (30) Priorität: 15.09.2020 DE 102020124022 (71) Anmelder: centrotherm international AG 89143 Blaubeuren (DE)	(72) Erfinder: FUCHS, Jens-Uwe 89143 Blaubeuren (DE) TRÖLLER, Mirko 89143 Blaubeuren (DE) REIZE, Ralf 89143 Blaubeuren (DE) LEICHTLE, Roland 89143 Blaubeuren (DE) (74) Vertreter: Heyerhoff Geiger & Partner Patentanwälte PartGmbB  Heiligenbreite 52 88662 Überlingen 88662 Überlingen (DE)