(19)

(11)

EP 4 214 540 A1

(12)

(43) Date of publication: 26.07.2023 Bulletin 2023/30 (21) Application number: 21870233.0 (22) Date of filing: 16.09.2021

(51) International Patent Classification (IPC):  G01S 7/4865(2020.01) G01S 13/08(2006.01) G02B 6/42(2006.01) G01S 17/894(2020.01) G01J 1/42(2006.01) G02F 1/16762(2019.01) (52) Cooperative Patent Classification (CPC): G01S 17/894; G01J 1/4228; G01J 2001/446; G01J 1/0209; G01J 1/0407; G01J 1/0488; H01L 27/14634; H01L 27/14636; H01L 27/14645; H01L 27/14649; H01L 27/14627; H01L 27/1463; H01L 27/14629; H01L 27/14621; H01L 27/14607; G01S 7/4863 (86) International application number: PCT/US2021/050717 (87) International publication number: WO 2022/061016 (24.03.2022 Gazette 2022/12)

(84) Designated Contracting States: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR Designated Extension States: BA ME Designated Validation States: KH MA MD TN (30) Priority: 16.09.2020 US 202063079409 P 21.09.2020 WO PCT/US2020/051733 25.09.2020 US 202063083705 P 12.10.2020 US 202063090669 P 22.10.2020 US 202063104358 P 06.11.2020 US 202063110345 P 20.11.2020 US 202063116387 P 23.11.2020 US 202063117449 P 14.12.2020 US 202063125349 P 21.12.2020 US 202063128702 P 11.01.2021 US 202163136101 P 26.01.2021 US 202163141948 P 28.01.2021 US 202163143004 P 23.02.2021 US 202117182954 26.02.2021 US 202163154598 P 06.03.2021 US 202163157703 P 13.03.2021 US 202163160799 P 16.03.2021 US 202163161915 P 27.03.2021 US 202163167007 P 07.04.2021 US 202163172078 P 12.04.2021 US 202163174008 P 14.04.2021 US 202163175026 P 25.05.2021 US 202163192971 P 27.05.2021 US 202163194059 P 08.06.2021 US 202163208358 P 06.07.2021 US 202163218855 P 19.07.2021 US 202163223508 P 02.08.2021 US 202163228491 P 23.08.2021 US 202163236195 P 07.09.2021 US 202163241414 P (71) Applicant: W&WSENS Devices, Inc. Los Altos, CA 94022 (US)

(72) Inventors: WANG, Shih-Yuan Palo Alto, CA 94306 (US) WANG, Shih-Ping Los Altos, CA 94022 (US) (74) Representative: Whitlock, Holly Elizabeth Ann et al Maucher Jenkins Seventh Floor Offices Artillery House 11-19 Artillery Row London SW1P 1RT London SW1P 1RT (GB)