| (84) | 
                        Benannte Vertragsstaaten:  | 
                      
                     
                         | 
                        AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC ME MK MT
                           NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR  | 
                      
                     
                         | 
                        Benannte Erstreckungsstaaten:  | 
                      
                     
                         | 
                        BA  | 
                      
                     
                         | 
                        Benannte Validierungsstaaten:  | 
                      
                     
                         | 
                        KH MA MD TN  | 
                      
                   
 
                     
                        | (71) | 
                        Anmelder: Pfeiffer Vacuum Technology AG | 
                      
                     
                         | 
                        35614 Asslar (DE) | 
                      
                   
  | 
               
                  
                     
                        | (72) | 
                        Erfinder:  | 
                      
                     
                         | 
                        
                           
                              - SCHÄFER, Heiko
 35606 Solms (DE) 
                              - SCHÄFER, Maik
 35796 Weinbach (DE) 
                              - BECKER, Jonas
 35649 Bischoffen (DE) 
                              - SÖHNGEN, Wolfgang
 35647 Waldsolms (DE) 
                              - HOFMANN, Jan
 35305 Grünberg (DE) 
                              - LATTA, Sebastian
 35578 Wetzlar (DE) 
                            
                         | 
                      
                   
 
                     
                        | (74) | 
                        Vertreter: Manitz Finsterwald 
                              Patent- und Rechtsanwaltspartnerschaft mbB  | 
                      
                     
                         | 
                        Martin-Greif-Strasse 1 80336 München 80336 München (DE) | 
                      
                   
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