(19)
(11) EP 4 222 539 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
09.08.2023  Patentblatt  2023/32

(21) Anmeldenummer: 21782920.9

(22) Anmeldetag:  22.09.2021
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
G02B 5/08(2006.01)
G21K 1/06(2006.01)
 G03F 7/20(2006.01)
G02B 1/14(2015.01)
(52) Gemeinsame Patentklassifikation (CPC) :
G02B 5/0891; G02B 5/0833; G03F 7/70958; G02B 1/14; G03F 7/70316; G21K 2201/067; C23C 14/3464; C23C 14/3421; C23C 14/08; C23C 14/0036; C23C 14/3471; H01J 37/3405; H01J 37/3438
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2021/076033
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2022/069310 (07.04.2022 Gazette  2022/14)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
BA ME
Benannte Validierungsstaaten:
KH MA MD TN

(30) Priorität: 30.09.2020 DE 102020212353

(71) Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH
73447 Oberkochen (DE)

(72) Erfinder:
  • GONCHAR, Anastasia
    89075 Ulm (DE)
  • WEBER, Joern
    73430 Aalen (DE)
  • SHKLOVER, Vitaliy
    89522 Heidenheim (DE)

(74) Vertreter: Lorenz, Markus 
Lorenz & Kollegen Patentanwälte Partnerschaftsgesellschaft mbB Alte Ulmer Straße 2
89522 Heidenheim
89522 Heidenheim (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES OPTISCHEN ELEMENTS, OPTISCHES ELEMENT, VORRICHTUNG ZUR HERSTELLUNG EINES OPTISCHEN ELEMENTS, SEKUNDÄRGAS UND PROJEKTIONSBELICHTUNGSANLAGE