ATBECHDEDKESFRGBGRITLILUNLSEMCPTIESILTLVFIROMKCYALTRBGCZEEHUPLSKBAHRIS..MTNORSMESMMAKHTNMD..........*X2.0.21 - 1100000/04222539A120230809EP21782920.92021092220230323dedede10202021235320200930DE2023080920233220230809202332G02B 5/08 20060101AFI20220408BHEP G03F 7/20 20060101ALI20220408BHEP G21K 1/06 20060101ALI20220408BHEP G02B 1/14 20150101ALI20220408BHEP G02B 5/0891 20130101 FI20211215BHEP G02B 5/0833 20130101 LI20211215BHEP G03F 7/70958 20130101 LI20211215BHEP G02B 1/14 20150115 LI20211215BHEP G03F 7/70316 20130101 LI20220421BHEP G21K2201/067 20130101 LA20220812BHEP C23C 14/3464 20130101 LI20220822BHEP C23C 14/3421 20130101 LI20220822BHEP C23C 14/08 20130101 LI20220822BHEP C23C 14/0036 20130101 LI20220822BHEP C23C 14/3471 20130101 LI20220822BHEP H01J 37/3405 20130101 LI20220824BHEP H01J 37/3438 20130101 LI20220824BHEP deVERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES OPTISCHEN ELEMENTS, OPTISCHES ELEMENT, VORRICHTUNG ZUR HERSTELLUNG EINES OPTISCHEN ELEMENTS, SEKUNDÄRGAS UND PROJEKTIONSBELICHTUNGSANLAGEenMETHOD FOR PRODUCING AN OPTICAL ELEMENT, OPTICAL ELEMENT, DEVICE FOR PRODUCING AN OPTICAL ELEMENT, SECONDARY GAS AND PROJECTION EXPOSURE SYSTEMfrPROCÉDÉ DE FABRICATION D'UN ÉLÉMENT OPTIQUE, ÉLÉMENT OPTIQUE, DISPOSITIF DE FABRICATION D'UN ÉLÉMENT OPTIQUE, GAZ SECONDAIRE ET SYSTÈME D'EXPOSITION PAR PROJECTIONCarl Zeiss SMT GmbH101211998ZS14160PCT/EPRudolf-Eber-Strasse 273447 OberkochenDEGONCHAR, Anastasia89075 UlmDEWEBER, Joern73430 AalenDESHKLOVER, Vitaliy89522 HeidenheimDELorenz, Markus100752218Lorenz & Kollegen Patentanwälte Partnerschaftsgesellschaft mbB Alte Ulmer Straße 289522 HeidenheimDEALATBEBGCHCYCZDEDKEEESFIFRGBGRHRHUIEISITLILTLULVMCMKMTNLNOPLPTRORSSESISKSMTRBAMEKHMAMDTNEP202107603320210922deWO202206931020220407202214