(19)

(11)

EP 4 222 558 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 09.08.2023  Patentblatt  2023/32 (21) Anmeldenummer: 21785835.6 (22) Anmeldetag:  28.09.2021

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  G03F 7/20(2006.01) G21K 1/06(2006.01) (52) Gemeinsame Patentklassifikation (CPC) : G03F 7/70575; G03F 7/7015; G03F 7/70033; G03F 7/70175; G03F 7/70191; G21K 1/067 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2021/076562 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2022/069427 (07.04.2022 Gazette  2022/14)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR Benannte Erstreckungsstaaten: BA ME Benannte Validierungsstaaten: KH MA MD TN (30) Priorität: 30.09.2020 DE 102020212367 (71) Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 73447 Oberkochen (DE)	(72) Erfinder: BOLSINGER, Valentin 73431 Aalen (DE) (74) Vertreter: Rau, Schneck & Hübner Patentanwälte Rechtsanwälte PartGmbB  Königstraße 2 90402 Nürnberg 90402 Nürnberg (DE)