(19)

(11)

EP 4 225 961 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 16.08.2023  Patentblatt  2023/33 (21) Anmeldenummer: 21769446.2 (22) Anmeldetag:  31.08.2021

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  C23C 4/134(2016.01) B05B 7/20(2006.01) C23C 4/11(2016.01) (52) Gemeinsame Patentklassifikation (CPC) : C23C 4/134; C23C 4/11; B05B 7/226 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2021/074036 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2022/073697 (14.04.2022 Gazette  2022/15)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR Benannte Erstreckungsstaaten: BA ME Benannte Validierungsstaaten: KH MA MD TN (30) Priorität: 06.10.2020 DE 102020126082 (71) Anmelder: Forschungszentrum Jülich GmbH 52425 Jülich (DE)	(72) Erfinder: BAKAN, Emine 52428 Jülich (DE) WOLF, Markus 52062 Aachen (DE) MAUER, Georg 47918 Tönisvorst (DE) MACK, Daniel Emil 50931 Köln (DE) VASSEN, Robert 52134 Herzogenrath (DE) (74) Vertreter: Paul & Albrecht Patentanwälte PartG mbB  Stresemannallee 4b 41460 Neuss 41460 Neuss (DE)