(19)
(11) EP 4 226 409 A1

(12)

(43) Date de publication:
16.08.2023  Bulletin  2023/33

(21) Numéro de dépôt: 21801585.7

(22) Date de dépôt:  04.10.2021
(51) Int. Cl.: 
H01L 21/02(2006.01)
 H01L 21/04(2006.01)
(52) Classification Coopérative des Brevets (CPC) :
H01L 21/02002; H01L 29/66462; H01L 21/02658; H01L 21/02378; H01L 21/0254
(86) Numéro de dépôt:
PCT/FR2021/051709
(87) Numéro de publication internationale:
WO 2022/074318 (14.04.2022 Gazette  2022/15)
(84) Etats contractants désignés:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Etats d'extension désignés:
BA ME
Etats de validation désignés:
KH MA MD TN

(30) Priorité: 06.10.2020 FR 2010206

(71) Demandeur: SOITEC
38190 Bernin (FR)

(72) Inventeur:
  • GUIOT, Eric
    38190 BERNIN (FR)

(74) Mandataire: Regimbeau 
20, rue de Chazelles
75847 Paris Cedex 17
75847 Paris Cedex 17 (FR)

   


(54) PROCÉDÉ DE FABRICATION D'UN SUBSTRAT POUR LA CROISSANCE ÉPITAXIALE D'UNE COUCHE D'UN ALLIAGE III-N À BASE DE GALLIUM