(19)
(11) EP 4 226 417 A1

(12)

(43) Date de publication:
16.08.2023  Bulletin  2023/33

(21) Numéro de dépôt: 21801968.5

(22) Date de dépôt:  04.10.2021
(51) Int. Cl.: 
H01L 21/762(2006.01)
(52) Classification Coopérative des Brevets (CPC) :
H01L 21/02002; H01L 21/76254; H01L 21/02378; H01L 21/185; H01L 23/3738; H01L 23/3732; H01L 23/3731; H01L 21/0254; H01L 21/02658
(86) Numéro de dépôt:
PCT/FR2021/051710
(87) Numéro de publication internationale:
WO 2022/074319 (14.04.2022 Gazette  2022/15)
(84) Etats contractants désignés:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Etats d'extension désignés:
BA ME
Etats de validation désignés:
KH MA MD TN

(30) Priorité: 06.10.2020 FR 2010208

(71) Demandeur: SOITEC
38190 Bernin (FR)

(72) Inventeur:
  • GUIOT, Eric
    38190 BERNIN (FR)

(74) Mandataire: Regimbeau 
20, rue de Chazelles
75847 Paris Cedex 17
75847 Paris Cedex 17 (FR)

   


(54) PROCÉDÉ DE FABRICATION D'UN SUBSTRAT POUR LA CROISSANCE ÉPITAXIALE D'UNE COUCHE D'UN ALLIAGE III-N À BASE DE GALLIUM