(19)

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EP 4 241 301 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3: 18.08.2022 (43) Veröffentlichungstag: 13.09.2023  Patentblatt  2023/37 (21) Anmeldenummer: 21810304.2 (22) Anmeldetag:  08.11.2021

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  H01L 21/50(2006.01) B23K 26/0622(2014.01) H01L 23/10(2006.01) (52) Gemeinsame Patentklassifikation (CPC) : H01L 21/50; H01L 23/10; B23K 26/206; B23K 2103/172 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2021/080975 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2022/096724 (12.05.2022 Gazette  2022/19)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR Benannte Erstreckungsstaaten: BA ME Benannte Validierungsstaaten: KH MA MD TN (30) Priorität: 08.11.2020 DE 102020129380 08.11.2020 DE 102020129382 (71) Anmelder: SCHOTT AG 55122 Mainz (DE) Schott Primoceler Oy 33720 Tampere (FI)	(72) Erfinder: THOMAS, Jens Ulrich 55128 Mainz (DE) MÄÄTTÄNEN, Antti 33710 Tampere (SE) KUNISCH, Clemens 55288 Arnsheim (DE) CORVERS, Stephan 65375 Oestrich-Winkel (DE) HOPPE, Bernd 55218 Ingelheim (DE) HERRMANN, Jens 55278 Selzen (DE) (74) Vertreter: Schott Corporate IP  Hattenbergstraße 10 55122 Mainz 55122 Mainz (DE)