(19)
(11) EP 4 241 302 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
13.09.2023  Patentblatt  2023/37

(21) Anmeldenummer: 21807048.0

(22) Anmeldetag:  05.11.2021
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H01L 21/67(2006.01)
B08B 3/02(2006.01)
 G03F 7/20(2006.01)
B08B 7/02(2006.01)
(52) Gemeinsame Patentklassifikation (CPC) :
H01L 21/67051; H01L 21/67028; B08B 9/0861; B08B 9/093; B08B 2203/007; B08B 2203/0288
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2021/080793
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2022/096657 (12.05.2022 Gazette  2022/19)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
BA ME
Benannte Validierungsstaaten:
KH MA MD TN

(30) Priorität: 09.11.2020 DE 102020129469

(71) Anmelder: GSEC GERMAN SEMICONDUCTOR EQUIPMENT COMPANY GMBH
78120 Furtwangen (DE)

(72) Erfinder:
  • HAAS, Gunter
    78112 St. Georgen (DE)
  • GUTEKUNST, Jürgen
    8266 Steckborn (CH)
  • SCHIENLE, Frank
    79111 Freiburg (DE)

(74) Vertreter: Walther Bayer Faber Patentanwälte PartGmbB 
Heimradstraße 2
34130 Kassel
34130 Kassel (DE)

   


(54) VORRICHTUNG ZUM REINIGEN VON TOPFFÖRMIGEN HOHLKÖRPERN, INSBESONDERE VON TRANSPORTBEHÄLTERN FÜR HALBLEITERWAFER ODER FÜR EUV-LITHOGRAFIE-MASKEN