ATBECHDEDKESFRGBGRITLILUNLSEMCPTIESILTLVFIROMKCYALTRBGCZEEHUPLSKBAHRIS..MTNORSMESMMAKHTNMD..........*X2.0.21 - 1100000/04241302A120230913EP21807048.02021110520230526dedede10202012946920201109DE2023091320233720230913202337H01L 21/67 20060101AFI20220513BHEP G03F 7/20 20060101ALI20220513BHEP B08B 3/02 20060101ALI20220513BHEP B08B 7/02 20060101ALI20220513BHEP H01L 21/67051 20130101 FI20220118BHEP H01L 21/67028 20130101 LI20220118BHEP B08B 9/0861 20130101 LI20220325BHEP B08B 9/093 20130101 LI20220325BHEP B08B2203/007 20130101 LA20220325BHEP B08B2203/0288 20130101 LA20220328BHEP deVORRICHTUNG ZUM REINIGEN VON TOPFFÖRMIGEN HOHLKÖRPERN, INSBESONDERE VON TRANSPORTBEHÄLTERN FÜR HALBLEITERWAFER ODER FÜR EUV-LITHOGRAFIE-MASKENenAPPARATUS FOR CLEANING POT-SHAPED HOLLOW BODIES, IN PARTICULAR TRANSPORT CONTAINERS FOR SEMICONDUCTOR WAFERS OR FOR EUV LITHOGRAPHY MASKSfrAPPAREIL DE NETTOYAGE DE CORPS CREUX EN FORME DE POT, EN PARTICULIER DES RÉCIPIENTS DE TRANSPORT POUR TRANCHES SEMI-CONDUCTRICES OU POUR MASQUES DE LITHOGRAPHIE EUVGSEC GERMAN SEMICONDUCTOR EQUIPMENT COMPANY GMBH101965909PAC20001P2EPNiegenhirschwald 378120 FurtwangenDEHAAS, Gunter78112 St. GeorgenDEGUTEKUNST, Jürgen8266 SteckbornCHSCHIENLE, Frank79111 FreiburgDEWalther Bayer Faber Patentanwälte PartGmbB100060916Heimradstraße 234130 KasselDEALATBEBGCHCYCZDEDKEEESFIFRGBGRHRHUIEISITLILTLULVMCMKMTNLNOPLPTRORSSESISKSMTRBAMEKHMAMDTNEP202108079320211105deWO202209665720220512202219