(19)

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EP 4 241 316 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 13.09.2023  Patentblatt  2023/37 (21) Anmeldenummer: 21815905.1 (22) Anmeldetag:  22.10.2021

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  H01L 31/09(2006.01) H01L 31/0304(2006.01) H01L 31/0352(2006.01) H01L 31/18(2006.01) (52) Gemeinsame Patentklassifikation (CPC) : H01L 31/09; H01L 31/035236; H01L 31/03042; H01L 31/1844; H01L 31/03046; H01L 31/035263 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/DE2021/200163 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2022/096071 (12.05.2022 Gazette  2022/19)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR Benannte Erstreckungsstaaten: BA ME Benannte Validierungsstaaten: KH MA MD TN (30) Priorität: 06.11.2020 DE 102020213957 (71) Anmelder: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. 80686 München (DE)	(72) Erfinder: MASSELINK, William Ted 12205 Berlin (DE) SEMTSIV, Mykhaylo Petrovych 10318 Berlin (DE) GLOBISCH, Björn 13347 Berlin (DE) (74) Vertreter: Fischer, Uwe  Patentanwalt Moritzstraße 22 13597 Berlin 13597 Berlin (DE)