| (84) |
Benannte Vertragsstaaten: |
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AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC ME MK MT
NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR |
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Benannte Erstreckungsstaaten: |
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BA |
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Benannte Validierungsstaaten: |
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KH MA MD TN |
| (71) |
Anmelder: Pfeiffer Vacuum Technology AG |
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35614 Asslar (DE) |
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| (72) |
Erfinder: |
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- BERNHARDT, Gernot
35625 Hüttenberg (DE)
- SCHÄFER, Maik
35796 Weinbach (DE)
- SCHÄFER, Heiko
35606 Solms-Niederbiel (DE)
- TÖNNISSEN, Jörn
61231 Bad Nauheim, (DE)
- HOFMANN, Jan
35305 Grünberg (DE)
- LATTA, Sebastian
35578 Wetzlar (DE)
- BECKER, Jonas
35649 Bischoffen (DE)
- SÖHNGEN, Jonas
35647 Waldsolms (DE)
- GERMANN, Jannik
35759 Driedorf-Seilhofen (DE)
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| (74) |
Vertreter: Manitz Finsterwald
Patent- und Rechtsanwaltspartnerschaft mbB |
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Martin-Greif-Strasse 1 80336 München 80336 München (DE) |
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