(19)

(11)

EP 4 256 102 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 11.10.2023  Patentblatt  2023/41 (21) Anmeldenummer: 21819720.0 (22) Anmeldetag:  18.11.2021

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  C23C 14/32(2006.01) C23C 14/00(2006.01) C23C 14/22(2006.01) C23C 16/24(2006.01) C23C 14/08(2006.01) C23C 16/44(2006.01) (52) Gemeinsame Patentklassifikation (CPC) : C23C 14/325; C23C 16/24; C23C 14/0021; C23C 14/08; C23C 14/22; C23C 16/44 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2021/000144 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2022/117220 (09.06.2022 Gazette  2022/23)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR Benannte Erstreckungsstaaten: BA ME Benannte Validierungsstaaten: KH MA MD TN (30) Priorität: 02.12.2020 DE 102020007352 (71) Anmelder: Oerlikon Surface Solutions AG, Pfäffikon 8808 Pfäffikon (CH)	(72) Erfinder: RAMM, Jürgen 7304 Maienfeld (CH) (74) Vertreter: Bals & Vogel Patentanwälte PartGmbB  Konrad-Zuse-Str. 4 44801 Bochum 44801 Bochum (DE)